簡要描述：雅馬拓等離子清洗機PDC200：適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗ji。均勻性高的電極構造。操作簡單的觸摸屏控制器。

詳情介紹

品牌	YAMATO/日本雅馬拓	產(chǎn)地類別	進口
應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè)

雅馬拓等離子清洗機PDC200產(chǎn)品信息：

適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗儀器。均勻性高的電極構造。操作簡單的觸摸屏控制器。

高頻輸出300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清儀器。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

PDC200/210/510等離子清儀器用途

?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

?去除有機膜和金屬氧化膜

?印刷電路基板的干式清洗

?界面活性處理

?LED封裝

?DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）

?RIE模式

?均勻性高的電極構造

?操作簡單的觸摸屏控制器

雅馬拓等離子清洗機PDC200產(chǎn)品參數(shù)：

型號	PDC200	PDC210	PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）		RIE/DP
電極構造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
控制·顯示	液晶觸摸屏
反應室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
電極尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反應室材質(zhì)	鋁
反應氣體	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應氣體流量控制	流量計	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標配	油泵（約500L/分）標配
氣體導入口	反應氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	約100kg	約105kg	約180kg
電源	單相AC100V10A	三相AC200V6A	三相AC200V8A

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